検索対象:     
報告書番号:
※ 半角英数字
 年 ~ 
 年

Chemical spattering yields of titanium carbide

TiCの化学スパッタリング

山田 禮司; 中村 和幸 ; 西堂 雅博

not registered; not registered; not registered

パルクTiC,CVDTiC,PVD TiCに関して、水素イオンによる化学スパッタリング収率を測定した。測定結果によれば、室温から550$$^{circ}$$C付近まで化学スパッタリング収率はあまり変化せず、黒鉛のそれの1桁以上小さな値を示した。また、収率は2keV付近で広がったピークになる。

no abstracts in English

Access

:

- Accesses

InCites™

:

パーセンタイル:96.13

分野:Materials Science, Multidisciplinary

Altmetrics

:

[CLARIVATE ANALYTICS], [WEB OF SCIENCE], [HIGHLY CITED PAPER & CUP LOGO] and [HOT PAPER & FIRE LOGO] are trademarks of Clarivate Analytics, and/or its affiliated company or companies, and used herein by permission and/or license.