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Surface erosion and Re-emission behavior of various coatings under helium and hydrogen ion bombardment

各種コーティング材料の水素およびヘリウムイオン衝撃による表面侵食とガス再放出挙動

西堂 雅博; 山田 禮司; 中村 和幸 

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Mo基板上にコーティングしたCVD-TiC,CVD-TiN,RIP-TiC,RiP-SiCおよびDVD-Cの各種コーティング材料の照射耐性を調べた。照射に用いたイオン種は200keVのH$$_{2}$$$$^{+}$$イオンとHe$$^{+}$$イオンであり、照射に用いたイオン種は室温から500$$^{circ}$$Cの範囲でおこなった。照射中の水素およびヘリウムの再放出量を、質量分析計により、また、照射後の試料表面は、走査型電子顕微鏡により、それぞれ測定、観察を行なった。照射による表面侵食の程度および型態は、コーティングの種類および製法、表面状態、試料温度、ならびに照射するイオン種に強く依存することが明らかになった。また、ガス再放出挙動と表面侵食との間に強い相関関係のあることが明らかになった。

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パーセンタイル:47.6

分野:Materials Science, Multidisciplinary

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