JFT-2におけるグロー放電洗浄効果とTDC効果との比較

Comparison of glow discharge cleaning with taylor-type discharge cleaning on JFT-2

横倉賢治; 松崎誼; 谷孝志; 菊池一夫; 椛澤稔; 長谷川浩一; 岡野文範; 樫村隆則; 鈴木紀男; 木島滋; 大塚英男

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JFT-2トカマクプラズマ装置を使用して、グロー放電洗浄(GDC)の手法開発を行い、GDCの洗浄効果とTDCの洗浄効果との比較を行なった。また、それぞれの役割を実験結果から明確にした論文である。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	真空
巻	:	26
号	:	4
ページ数	:	p.300 - 311
発行年月	:	1983/00
発表会議名	:
開催年月	:
開催都市	:
開催国	:
キーワード	:	JFT-2; 放電洗浄; グロー放電; TDC

特許データ	:
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論文URL	:	https://doi.org/10.3131/jvsj.26.300
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Access	:	- Accesses
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登録番号 : A19833013
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 6610

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