JT-60その場コーティング技術の検討,(II); 反応性蒸着によるTiC膜の生成

Studies on in-situ coating techniques for JT-60(II)

not registered; not registered; not registered; Hiroki, S.; Murakami, Yoshio

JT-60第1壁へのTiC膜その場コーティングを行うための予備実験を行なった。用いた方法は反応性蒸着法で、Tiを蒸発させると同時にC $_{2}$ H $_{4}$ あるいはC $_{2}$ H $_{2}$ ガスを導入して温度200,300,400 $^{circ}$ CのMo基板上に膜を析出させた。析出膜の化学組成分析を行なった結果、C $_{2}$ H $_{2}$ ガスを用いるとC $_{2}$ H $_{4}$ ガスの約1/7の低い圧力で化学量論組成のTiC膜が得られることがわかった。また、析出膜のX線回折およびオージエ電子分光分析により、TiC膜であることが確認された。このことにより、TiC膜その場コーティングにはC $_{2}$ H $_{2}$ ガスを用いる反応性蒸着法が適していることがわかった。

no abstracts in English

使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	真空
巻	:	26
号	:	5
ページ数	:	p.494 - 498
発行年月	:	1983/00
発表会議名	:
開催年月	:
開催都市	:
開催国	:
キーワード	:	JT-60; 第一壁; TiC; その場コーティング; 反応性蒸着法; チタン蒸発源; エチレンガス; 真空容器; 核融合装置

特許データ	:
PDF	:

論文URL	:	https://doi.org/10.3131/jvsj.26.494
研究データの公開先DOI	:
使用施設	:
広報プレスリリース	:
論文解説記事 (成果普及情報誌)	:
受委託・共同研究相手機関	:

Access	:	- Accesses
Web of Science® Times Cited Count	:	被引用回数：評価・統計等のため最新の被引用回数を確認したい場合は、直接Web of Science®をご確認ください。 http://www.webofknowledge.com/wos
InCites™	:
Altmetrics	:

登録番号 : A19822473
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 6681

[CLARIVATE ANALYTICS], [WEB OF SCIENCE], [HIGHLY CITED PAPER & CUP LOGO] and [HOT PAPER & FIRE LOGO] are trademarks of Clarivate Analytics, and/or its affiliated company or companies, and used herein by permission and/or license.