Low energy selfsputtering yields of molybdenum and tungsten

モリブデンおよびタングステンの低エネルギー自己スパッタリング率

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低エネルギー領域(0.1keV~10keV)における、モリブデンおよびタングステンの自己スパッタリング率を、重量法により測定した。得られた結果は、2つのスパッタリング率を予想するために提案されている経験式との比較を行ない、そのエネルギー依存性は、比較的良く、傾向を示していること、実験値は、予想値よりファクター2ないし3程度小さいことなどが判明した。また、第一壁の損耗に与える自己スパッタリングの影響についても、論じた。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Japanese Journal of Applied Physics
巻	:	22
号	:	9
ページ数	:	p.1361 - 1365
発行年月	:	1983/00
発表会議名	:
開催年月	:
開催都市	:
開催国	:
キーワード	:	Low Energy Sputtering; Self Sputtering; Molyfdenum; Tungsten; Refraitory Metal; Empirical Formula

特許データ	:
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論文URL	:	https://doi.org/10.1143/JJAP.22.1361
研究データの公開先DOI	:
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広報プレスリリース	:
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Access	:	- Accesses
Web of Science® Times Cited Count	:	被引用回数：評価・統計等のため最新の被引用回数を確認したい場合は、直接Web of Science®をご確認ください。 http://www.webofknowledge.com/wos
InCites™	:	パーセンタイル：65.43 分野：Physics, Applied
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登録番号 : A19833007
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 6820

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