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Sputter-erosion of molybdenum and tungsten due to ion bombardment at temperatures up to 1,500$$^{circ}$$C

室温から1500$$^{circ}$$Cにおけるイオン衝撃によるモリブデンおよびタングステンのスパッタリング

西堂 雅博

not registered

国際トカマク炉(INTOR)などにおけるダイバーター保護板の材料として候補に上げられているタングステンおよびモリブデン金属の高温(1500$$^{circ}$$C迄)におけるスパッタリング挙動に関する実験結果について報告する。衝撃するイオン種としては、プラズマ不純物である炭素や酸素の効果を調べるために、CO$$^{+}$$イオンをまた、標準イオンとしてAr$$^{+}$$およびNe$$^{+}$$イオンを使用した。モリブデンの損耗率は、Co$$^{+}$$イオンに対して、特徴的な温度依存性を示し、1500$$^{circ}$$Cでは、室温での値、0.48atomo/ionの約3.5倍に増大すること、また、タングステンの損耗率はモリブデンに比較して、小さい温度依存性を示し、Ar$$^{+}$$照射の場合と、相似的であることが判明した。得られた結果から化学スパッタリング/酸化の損耗率へ及ぼす効果について議論した。

no abstracts in English

使用言語

 :

English

掲載資料名

 :

Journal of Nuclear Materials

巻

 :

128-129

号

 :

ページ数

 :

p.540 - 544

発行年月

 :

1984/00

発表会議名

 :

開催年月

 :

開催都市

 :

開催国

 :

キーワード

 :

Sputter-erosion; Refractory metal; Chemical sputtering; Oxidation; Ion bombardment; Molybdenum; Tungsten

特許データ

 :

PDF

 :


論文URL

 :

https://doi.org/10.1016/0022-3115(84)90407-0

研究データの公開先DOI

 :

使用施設

 :

広報プレスリリース

 :

論文解説記事
(成果普及情報誌)

 :

受委託・共同研究相手機関

 :

Access

 :

- Accesses

InCites™

 :

パーセンタイル：83.09

分野：Materials Science, Multidisciplinary

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