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電顕用試料任意方向傾斜装置

The new type of specimen tilting device for electron microscopy

出井 数彦; 大津 仁

Izui, Kazuhiko; not registered

最近透過電顕による格子欠陥の研究の発展に件い、格子欠陥の電顕像が僅かな回折条件の変化に大きく影響されることから試料傾斜装置への要望が高まりすでに数種類製作されている。これらはいずれも試料を固定軸の周引こ回転させてー方向に傾斜、或は互に垂直な2軸の局リの回転を組み合わせて任意の方向に傾斜させるものである。任意方向傾斜の方が望ましいが傾斜の機構がやや複雑で実用上種々の不便がある。我々は傾斜機構の簡単化を意図し、全く新しい方式により、すなわち球面の擦り合わせを利用して、球面の曲率中心を回転中心として試料を任意の方向に回転、傾斜させる装置を設計し、充分実用に供し得るものを製作した。以下にこの装置の概要を説明する。

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