Projectile dependent sputter-erosion of oxygen-exposed molybdenum at different temperatures

いろいろな温度におけるモリブデンのスパッタ損耗におよぼす酸素効果

西堂雅博; H.L.Bay*; H.Gnaser*; W.O.Hofer*; J.Bohdansky*; J.Roth*

Saido, Masahiro; H.L.Bay*; H.Gnaser*; W.O.Hofer*; J.Bohdansky*; J.Roth*

高融点金属(INTOR用ダイバータ板候補材料)であるモリブデンの酸素雰囲気における高温(500 $^{circ}$ C付近)でのスパッタリング特性を調べた。軽イオン(He $^{+}$ ,D $^{+}$ )によるスパッタリング収率は重量法により、He $^{+}$ 照射によるスパッタ粒子放出角度分布は堆積法により、また、Ar $^{+}$ 照射によるスパッタ粒子の構成粒子分布は質量分析法によりそれぞれ測定した。 500 $^{circ}$ C付近のAr $^{+}$ 照射で観測される酸素圧の上昇に伴なう損耗率の増加はMoO $_{2}$ の形で照射誘起蒸発する過程が、新らたにつけ加わるために起こることが判明した。一方、軽イオン照射による高温でのスパッタリング収率の酸素依存性は、室温でのそれから若干異なるが、Ar $^{+}$ 照射の場合にみられた損耗率の増加という顕著な違いはみられないことがわかった。

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発表言語	:	English
掲載資料名	:	Journal of Nuclear Materials
巻	:	145-147
号	:
ページ数	:	p.387 - 390
発行年月	:	1987/00
発表会議名	:	7th Int. Conf. on Plasma-Surface Interactions in Controlled Fusion Device
開催年月	:	1986/05
開催都市	:	Princeton
開催国	:	U. S. A.
キーワード	:	Oxygen Effect; Sputter-Erosion; Molybdenum; Light-ion Bombardment; Sputtering Yield; Angular Distrribution; Mass Spectrometry

特許データ	:
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論文URL	:	https://doi.org/10.1016/0022-3115(87)90366-7
研究データの公開先DOI	:	本成果にかかわる研究データのリンクです。
使用施設	:
広報プレスリリース	:
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Access	:	- Accesses
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InCites™	:	パーセンタイル：19.11 分野：Materials Science, Multidisciplinary
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登録番号 : B19851036
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 8101

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