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真空壁の表面現象に関する研究の現状と問題点,1; スパッタリング

Review of Plasma-Wall Interactions in Fusion Reactors,1; Sputtering

曽根 和穂

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本報告は将来の核融合炉およびそれを目標とした大型トカマク等の研究、開発において最近その重要性が急速に認識されてきている真空壁の表面現象のうちの1つ、スパッタリングに関する研究のレビューである。ここでは主として金属の多結晶の、軽イオン(H$$^{+}$$、H$$_{2}$$$$^{+}$$、D$$^{+}$$、D$$_{2}$$$$^{+}$$、He$$^{+}$$など)および自己イオンを含む重イオンによるスパッタリング、さらに高速中性子によるスパッタリングについて実験を中心にその研究の現状をまとめ、併せてこれから必要とされる研究内容およびその問題点について指摘した。

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