スパッタ表面同時観察装置の製作; イオン照射による材料表面形状変化の同時かつ連続観察装置

Construction of a System for Simultaneous and Continuous Observation of Surfaces During Ion Bombardment

小原 建治郎; 阿部 哲也 ; 曽根 和穂

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今年(1978年)5月、当研究部に設置されたスパッタ表面同時観察装置の概要についてまとめたものである。この装置は、既設の加速器に接続することによりイオンを照射している状態で、その試料の表面形状変化を観察・記録出来るようにしたものである。装置の主な機構は走査電子顕微鏡(SEM)であり、イオン照射時の像観察には反射電子を利用した。そのため新らたに反射電子検出器を設計・製作するとともに、イオン照射量計測装置などの機構も付加した。装置据付後の試験結果(100KeV、Heイオンモリブデン)では、ほぼ静止画像に近い走査において約1000の分解能が得られた。これはイオン照射によるスパッタリングやブリスタリングがひき起す材料表面の形状変化を観察するのに充分な分解能である。

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