非水冷型ノズルによるLTI熱分解炭素蒸着

Deposition of LTI Pyrolytic by a Noggle without Water Cooling

小川 徹; 井川 勝市

not registered; Ikawa, Katsuichi

水冷ガス導入管を用いずに、ノズル口の閉塞なしに熱分解炭素を被覆する方法を開発した。同法では、ノズル口前後に適当な温度分布を与えることによって、水冷ガス導入管を不要としている。同法の採用によって、プロピレンガスによる噴流床内での吸熱効果を最小にすることができ、被覆温度の制御が容易になる。したがって、被覆層の性状が容易に制御される。得られた熱分解炭素層は、十分な密度、等方性、均質性、ヤング率を有していた。また、同噴流床中の熱分解炭素蒸着挙動を調べ、従来型の水冷型導入管を用いた噴流床についての同様な研究と比較した。結果については、LefevreおよびLinkeらの集塊モデルによって考察した。

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