JT-60圧電素子弁の流量較正方法に関する検討(臨界プラズマ試験装置設計報告・131)

Throughput Calibration Methods for Piezoelection Valves of JT-60

堀江 知義; 川崎 幸三; 平塚 一 ; 安光 直樹*

not registered; not registered; not registered; not registered

JT-60用圧電素子弁を実機に取付けた状態で実施する圧電子素子弁流量の較正方法について、試験及び会席の両面から検討した結果、以下の点が明らかになった。(1)圧電素子弁の竜量較正方法として、ゲート弁を開けた状態でポートマニホールド枝管圧力を測定して行なうダイナミック法を適用できる見通しを得た。(2)小容量圧電子素子弁が取付けられる枝管の圧力は、大容量圧電子素子弁の動作によって影響を受けるため、正確にガス注入量を求めることはできないため圧力上昇分の補正が必要である。(3)大容量圧電子素子弁のガス注入量測定に、MKSバラトロン真空計の1Torrセンサを使用すると、ガス注入時の圧力変化によって、センサのダイヤフラムが振動するため。ダイヤフラムの手前にオリフィスを設るなど改善の必要がある。

no abstracts in English