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微小容量圧電素子弁の開発; 臨界プラズマ試験装置設計報告,192

Development of a Micro-Flow Piezoelectric Valve for JT-60

平塚 一 ; 川崎 幸三

Hiratsuka, Hajime; not registered

臨界プラズマ試験装置ガス注入装置の圧電素子弁には、大容量圧電素子弁と小容量圧電素子弁の2種類が有る。JT-60の実験が進むに連れて、プラズマの不純物制御及びリモートクーリングのため低流量域の注入量特性を持つ圧電素子弁の開発が要望されてきた。試作試験の結果、低流領域の圧電素子弁(微小容量圧電素子iPEV-LLと称する)を実験に用いる技術的知見が得られた。微小容量圧電素子弁は、既設小容量圧電素子弁の弁座部のみを変更して 外形は同形状とした。微小容量圧電素子弁の特性は、以下のように要約できる。(1)微小容量圧電素子弁の動作電圧は、DC80$$sim$$175Vである。(2)背圧0.2MPaで175VGP加時の最大流量は、0.5Pam$$^{3}$$/s(約3.8 Torrl/s)であった。(3)微小容量圧電素子弁の動作速度及びシートリーク量は、5msec以下及び1.33$$times$$10$$^{-}$$$$^{8}$$Pam$$^{3}$$/s以下であった。

no abstracts in English

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