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Photoluminescence of $$beta$$-FeSi$$_2$$ thin film prepared by ion beam sputter deposition method

イオンビーム蒸着法による作製した$$beta$$-FeSi$$_2$$薄膜の発光特性

志村 憲一郎; 山口 憲司; 山本 博之; 笹瀬 雅人*; 社本 真一  ; 北條 喜一

Shimura, Kenichiro; Yamaguchi, Kenji; Yamamoto, Hiroyuki; Sasase, Masato*; Shamoto, Shinichi; Hojo, Kiichi

イオンビームスパッタ蒸着(IBSD)法により作製した$$beta$$-FeSi$$_2$$薄膜の発光特性を調べ、本手法による$$beta$$-FeSi$$_2$$としては初めて、100K以下の温度にて0.77及び0.83eV付近に発光ピークを観測した。さらに1153Kで24時間以上アニールすることにより、ピーク位置は0.81eVへとシフトするものの、6Kでの発光強度は1桁以上増加した。アニール前の発光スペクトルは100K以上で消光してしまったのに対し、アニール後は、室温付近まで発光を観測することができた。

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