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Development of neutron supermirror with large-scale ion-beam sputtering instrument

大型イオンビームスパッタ装置による中性子スーパーミラーの開発

丸山 龍治  ; 山崎 大 ; 海老澤 徹*; 日野 正裕*; 曽山 和彦 

Maruyama, Ryuji; Yamazaki, Dai; Ebisawa, Toru*; Hino, Masahiro*; Soyama, Kazuhiko

中性子スーパーミラーは、中性子ビームの輸送,収束に用いられる重要な中性子光学素子となっている。われわれはそのミラーを、密度が高く、結晶粒が小さい良質な膜が得られるイオンビームスパッタ装置を用いて開発してきた。また、多層膜の界面粗さを抑えるために、イオンポリッシュ法の研究も行ってきた。われわれは、実効臨界角の大きなスーパーミラーガイド及びベンダーの実現に向けて、新しく直径500mmの有効積層面積を持つイオンビームスパッタ装置を導入した。本発表では、その装置を用いて積層したスーパーミラーの性能及びスーパーミラーを用いた将来の中性子光学素子開発について議論する。

Neutron supermirror has become an important device to transport, bending and focusing a neutron beam. We have developed it using ion beam sputtering (IBS) instrument since it enables us to produce good quality layers with high density and small grain size. We have also investigated ion-polishing technique, which suppresses the interface roughness of multilayers. We have now installed new IBS instrument with effective deposit area of 500 mm in diameter for the realization of supermirror guide and bender with large effective critical angle. In this presentation, the performance of the supermirrors fabricated with it and the future development of neutron optical devices using supermirrors will be discussed.

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パーセンタイル:72.23

分野:Physics, Condensed Matter

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