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SPring-8原研アンジュレータービームラインBL11XUの真空排気ユニットの振動対策

Stabilizing methods against mechanical vibrations of vacuum exhaustion units on BL11XU at SPring-8

桐山 幸治*; 塩飽 秀啓

Kiriyama, Koji*; Shiwaku, Hideaki

原研アンジュレータービームラインBL11XUの輸送部配管に接続されている真空排気ユニットの振動対策を行った。排気ユニットはターボ分子ポンプとスクロールポンプから構成されており、これらを運転させることで必然的に生じる振動が何らかの経路で分光器に伝わってしまうと、分光結晶の平行度が崩れて出射光の安定に影響を及ぼす可能性がある。そのため、排気ユニットの振動対策はビームラインの安定運転のために必要である。特に大きな振動を生じるスクロールポンプの振動をオフラインでさまざまな測定条件で測定した結果、スクロールポンプの振動を抑えるには、(1)スクロールポンプに制振装置を取り付ける,(2)排気ユニットの架台にスクロールポンプを置かず、床に置く,(3)フレキシブルチューブとスクロールポンプを床に固定するとよいことがわかった。これらの排気ユニットの振動対策を行った結果、分光結晶ホルダーにセットされた振動計の測定では、排気ユニットから分光器へ伝播していたスクロールポンプの振幅は従来の約5分の1に減少した。今回BL11XUで施した手法は、排気ユニットを導入している他ビームラインのスクロールポンプの制振対策としても十分有効な手段であろう。

Stabilizing methods for vacuum exhaustion units in the optics section of the beamline have been developed on BL11XU at SPring-8. In this study, we especially focus on the vibrations from scroll pumps in the vacuum exhaustion units. Vibration frequencies are measured directly on the scroll pump under multiple conditions. The results showed that countermeasures to restrain the 30Hz vibration from scroll pumps on the beamline which was caused by working scroll pump are (1) using a damper for scroll pump, (2) pulling out the scroll pump from a vacuum unit support, and (3) settling flexible tubes and the scroll pump on the floor. These methods successfully removed the mechanical vibrations of the scroll pumps. As a result, the amplitude of 30Hz vibration on the monochromator crystals was decreased from 3.3$$times$$10-5mm to 6.2$$times$$10-6mm. The developed method in the present study on BL11XU is expected to apply to the similar vacuum units at the other beamlines.

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