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Approach to optimize conversion efficiency of discharge-pumped plasma extreme ultraviolet sources

放電励起EUV光源の変換効率の最適化の方法の考察

Masnavi, M.*; 中島 充夫*; 佐々木 明; 堀田 栄喜*; 堀岡 一彦*

Masnavi, M.*; Nakajima, Mitsuo*; Sasaki, Akira; Hotta, Eiki*; Horioka, Kazuhiko*

MHDシミュレーションと、HULLACコードによる原子データを用いた原子過程シミュレーションを組合せ、キャピラリー放電によるEUV光源の変換効率が、電流パルスの形状を整形することで改善される可能性について理論的に解析した。電流パルスの形状を制御し、プラズマのダイナミクスを制御し、プラズマがピンチされた状態を維持することで、発光のパルス幅を伸ばし、準定常的なプラズマを生成することにより効率の改善を図る。

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パーセンタイル:84.24

分野:Physics, Applied

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