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10GHz MINI-ECRの開発と12GHz MINI-ECR IIの設計

Development of 10GHz MINI-ECR and design of 12GHz MINI-ECR II

齋藤 勇一; 横田 渉; 大越 清紀 

Saito, Yuichi; Yokota, Wataru; Okoshi, Kiyonori

TIARAでは1994年より、静電加速器用の小型で低消費電力のECRイオン源の開発を進めている。MINI-ECRではすべての磁石に永久磁石を採用したECRイオン源で、トランジスタアンプで発生した10GHzのマイクロ波で動作する。独自な形状の電極を用いたバイアスプローブ法で価数の向上とビーム電流の増大に成功し、1$$mu$$A近いAr$$^{9+}$$を得ている。さらに、ECRイオン源でSF$$_{6}$$プラズマ法を使用した高融点金属イオンの生成技術も確立した。現在、400kVイオン注入器に搭載され、MeVイオン注入の実現に向けてビーム加速テストが行われている。MINI-ECR IIは12GHzで動作するため、磁場をさらに強くするように永久磁石の配置に新たな工夫をした。現在は、試験運転の準備を進めているところである。講演では、静電加速器用小型ECRイオン源に特有な技術、MINI-ECRの特徴と到達性能及びMINI-ECR IIの設計磁場の特徴を報告する。

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