Gasochromic property of oriented tungsten oxide thin films

一軸配向した酸化タングステン薄膜のガスクロミック特性

Inoue, Aichi; Takano, Katsuyoshi; Yamamoto, Shunya; Yoshikawa, Masahito; Nagata, Shinji*

水素社会に向けて、可燃性ガスである水素に対して着火源となる電源などを使用しない光学式水素センサーの開発が求められている。そこで本研究では、水素検知材料として用いる酸化タングステンの薄膜をRFスパッタ法を用いて作製し、結晶状態とガスクロミック特性の関係について調べた。実験では、基板温度と雰囲気ガス圧をパラメータとし、X線回折法を用いて結晶構造の評価を行った。さらに、体積濃度1%の水素に対してのガスクロミック特性を評価した。その結果、結晶配向するほど、優れたガスクロミック特性を示すことが明らかとなった。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Transactions of the Materials Research Society of Japan
巻	:	31
号	:	1
ページ数	:	p.227 - 230
発行年月	:	2006/03
発表会議名	:	第16回日本MRS学術シンポジウム
開催年月	:	2005/12
開催都市	:	東京
開催国	:	日本
キーワード	:	no keyword

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使用施設	:	TIARA(イオン照射研究施設)
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登録番号 : BB20050200
抄録集掲載番号 : 34000511
論文投稿番号 : 630

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