SPring-8 BL11XUの真空排気ユニット振動対策

Stabilizing methods against mechanical vibrations of vacuum exhaustion units on BL11XU at SPring-8

桐山 幸治; 塩飽 秀啓   

Kiriyama, Koji; Shiwaku, Hideaki

日本原子力研究開発機構・専用ビームラインBL11XUの光学ハッチ内に設置されている真空排気ユニットの振動対策を行った。この真空排気ユニットはターボ分子ポンプとスクロールポンプから構成されている。真空排気ユニットの運転によって生じる振動が分光結晶に伝わると、その平行度が崩れて出射光の安定に影響を及ぼす可能性があるため、真空排気ユニットの振動対策はビームラインの安定運転のために必要である。特に大きな振動を生じるスクロールポンプの振動対策はこれまでにも試験されてきた。今回、オフラインのさまざまな測定条件下でスクロールポンプの振動を測定した結果、スクロールポンプの振動を外部に伝播させないための効果的な方法は、「制振装置を取り付けたスクロールポンプと、ターボ分子ポンプとスクロールポンプを結ぶフレキシブルチューブの両者をハッチ床に固定すること」だとわかった。これらの振動対策を真空排気ユニットに施した結果、スクロールポンプ特有の周波数30Hzの振幅が振動対策前には3.310-5mmであったが、振動対策後は6.210-6mmと約5分の1に減少し、その効果を確認することができた。

Stabilizing methods for vacuum exhaustion units in the optics section of the beamline have been developed on BL11XU at SPring-8. In this study, we especially focus on the vibrations from scroll pumps in the vacuum exhaustion units. Vibration frequencies were measured directly on the scroll pump under multiple conditions. From these measurements the following countermeasures were found to be dramatically effective for restrain on the 30Hz vibration from (1) to use a damper for scroll pump, (2) not to attach the scroll pump to a vacuum unit support but to put it on directly on the floor, and (3) to settle flexible tubes and the scroll pump on the floor. These methods successfully removed the mechanical vibrations of the scroll pumps. As a result, the amplitude of the 30Hz vibration on the monochromator crystals was decreased from 3.310-5mm to 6.210-6mm. The proposed methods in the present study on BL11XU can be applied to the similar vacuum units at the other beamlines.