Energy variable slow positron beam study of Li $^{+}$ -implantation-induced defects in ZnO

エネルギー可変陽電子ビームを用いたLiイオン注入酸化亜鉛中の欠陥挙動の研究

Chen, Z. Q.*; Maekawa, Masaki; Kawasuso, Atsuo

サファイア基板上に育成した酸化亜鉛薄膜に100keVのLiイオンを1E+16Li $^{+}$ /cm $^{2}$ 注入した。注入後、空孔集合体が形成がされていることが見いだされた。500 $^{circ}$ Cまでの熱処理によって、ポジトロニウムの形成が見いだされたことから、空孔集合体がマイクロボイドに変態することが明らかになった。1000 $^{circ}$ Cまでの熱処理で、マイクロボイドが消失することが明らかになった。当初期待されたLiナノクリスタルの生成は認められなかった。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Chinese Physics Letters
巻	:	23
号	:	3
ページ数	:	p.675 - 677
発行年月	:	2006/03
発表会議名	:
開催年月	:
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キーワード	:	no keyword

特許データ	:
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論文URL	:	https://doi.org/10.1088/0256-307X/23/3/042
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使用施設	:	TIARA(イオン照射研究施設)
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Access	:	- Accesses
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登録番号 : AA20050330
抄録集掲載番号 : 34000260
論文投稿番号 : 369

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Energy variable slow positron beam study of Li -implantation-induced defects in ZnO

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