加速レンズを用いたkeV領域ガスイオンナノビーム生成

Development of a formation technique of keV range gas ion nanobeams using a double acceleration lens system

従来keV領域のイオンナノビームは液体金属イオン源を用いた集束イオンビーム装置(Focused Ion Beam)により形成されてきた。これにより形成されるGaイオン等の金属ナノビームは高いスパッタリング効果を有するため、ナノ微細加工に適しているが、物質中に残留するため、不純物残留の問題があるとともに、非破壊での微量分析には不向きである。原子力機構ではこれらの、問題の解決方法の一つとしてガスイオンを使用したkeV領域イオンナノビーム形成技術の研究開発形成を行っている。発表では、このために独自開発したデュオプラズマトロンタイプのプラズマ型イオン源とこれに適合する静電場の集束・加速効果を利用した加速レンズ系を組合せたkeV領域ガスイオンナノビームの形成装置の概要と、この装置におけるナノビーム形成の現状と展望を報告する。さらにこの応用への展開として、重イオンによる物質表面の加工、及び軽イオンによる非破壊物質表面の微量元素分析の研究に関しても言及する。

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使用言語	:	Japanese
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発表会議名	:	理研シンポジウム「イオンナノビームの生成と応用」
開催年月	:	2006/02
開催都市	:	和光
開催国	:	日本
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登録番号 : BB20051314
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