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ホルムアルデヒド殺菌ガスの電子ビーム処理

Electron beam treatment of formaldehyde sterilization gas

島田 明彦; 田久保 剛*; 箱田 照幸; 岩崎 達行*; 木下 忍*; 小嶋 拓治

Shimada, Akihiko; Takubo, Takeshi*; Hakoda, Teruyuki; Iwasaki, Tatsuyuki*; Kinoshita, Shinobu*; Kojima, Takuji

クリーンルームの薫蒸殺菌に使用後のホルムアルデヒド(HCHO)ガスについて、電子ビーム(EB)を用いてHCHOを分解するとともに、生成するO$$_{3}$$と触媒を利用して、ガス流通のままで分解生成物を酸化分解する技術の開発を行った。薫蒸ガスを模擬した520ppmvのHCHOを含む含水空気試料に、流通式で1MeV電子ビームを吸収線量10kGyで照射し、照射後分解生成物であるCO, CO$$_{2}$$,ギ酸及びHCHO濃度を測定した。さらに、照射後の空気を100$$^{circ}$$CのO$$_{3}$$分解触媒に通過させた後のCO及びCO$$_{2}$$濃度を測定した。EB照射後の、CO, CO$$_{2}$$,ギ酸及びHCHO濃度はそれぞれ170, 60, 140及び150ppmvであり、触媒通過前後では、試料空気中のCO濃度はほとんど変化しなかったが、CO$$_{2}$$濃度は240ppmvに増加した。すなわち、触媒を通過させることにより、EB照射後の未分解HCHO及びギ酸を酸化分解できることがわかった。これらから、スクラバーを用いずにガス流通のままでHCHOガスをEB処理する簡易なプロセスが開発できる見通しを得た。

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