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中性子線回折法を用いた快削性ガラスセラミックス中のマイカ結晶量と結晶構造解析

Crystal structure and quantitative analysis of mica in machinable glass ceramics using neutron diffraction

豊田 丈紫*; 佐々木 直哉*; 北川 賀津一*; 中村 静夫*; 佐藤 彰繁*; 寺尾 公一*; 井川 直樹   ; 石井 慶信

Toyoda, Takeshi*; Sasaki, Naoya*; Kitagawa, Katsuichi*; Nakamura, Shizuo*; Sato, Akishige*; Terao, Koichi*; Igawa, Naoki; Ishii, Yoshinobu

快削性セラミックスは半導体分野での部材として用いられ、より微細な加工精度が求められるようになってきている。これまでに、溶融結晶化法によって作製したマイカガラスセラミックスをHIP処理することでマイカ結晶の長軸長を5$$mu$$m未満に制御することに成功している。本研究では、切削性能に大きく影響を与える、この材料中に析出したマイカの結晶構造及び結晶量の評価を目的として中性子回折法による評価を行った。非結晶質ガラスの回折データによるバックグラウント補正を行うことにより、内標準法の結果と誤差の範囲で定量解析が可能になったこと,析出マイカは、格子定数は標準マイカのそれと同等であるが、結晶中の八面体サイトにガラス中のZrが取り込まれることが明らかになった。

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