佐々木 明; 砂原 淳*; 西原 功修*; 西川 亘*; 小池 文博*; 田沼 肇*
Sasaki, Akira; Sunahara, Atsushi*; Nishihara, Katsunobu*; Nishikawa, Takeshi*; Koike, Fumihiro*; Tanuma, Hajime*
リソグラフィ用EUV光源として求められる、波長13.5nmにおけるSnプラズマの発光効率の向上,最適化のために、HULLACコードによって計算された原子データから求めた輻射輸送係数を用いて流体シミュレーションを行っている。理論,実験スペクトルの詳細な比較より、4から14価までのSnイオンの4d-4f, 4p-4d, 4d-5p, 4d-5f共鳴線とサテライト線が発光におもに寄与することが明らかになった。CIの効果を考慮して発光線波長を行い、さらに電荷交換分光法による実験との比較により原子データの精度が向上した。また、モデルを変えた反復計算により、サテライト線への寄与が大きい多電子励起,内殻励起状態が明らかになり、流体シミュレーションの精度が向上した。プラズマの密度が低いほど発光スペクトルが狭窄化し効率が高まるため、CO
レーザー励起は高効率化のためにも有利なことがわかった。
no abstracts in English
使用言語 |
: | English |
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掲載資料名 |
: | |
巻 |
: | 112 |
号 |
: | |
ページ数 |
: | p.042062_1 - 042062_4 |
発行年月 |
: | 2008/00 |
発表会議名 |
: | 5th International Conference on Inertial Fusion Sciences and Applications (IFSA 2007) |
開催年月 |
: | 2007/09 |
開催都市 |
: | Kobe |
開催国 |
: | Japan |
キーワード |
: | no keyword |
論文URL |
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論文解説記事 |
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受委託・共同研究相手機関 |
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Access |
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- Accesses |
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InCites™ |
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パーセンタイル：84.16 分野：Physics, Fluids & Plasmas |
Altmetrics |
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