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酸化タングステン膜の光学特性に及ぼす膜中水素の影響

Effects of hydrogen in tungsten oxide films on optical properties

井上 愛知; 山本 春也; 永田 晋二*; 高野 勝昌; 吉川 正人; 四竈 樹男*

Inoue, Aichi; Yamamoto, Shunya; Nagata, Shinji*; Takano, Katsuyoshi; Yoshikawa, Masahito; Shikama, Tatsuo*

酸化タングステン(WO$$_{3}$$)膜中の水素が及ぼす光学特性への影響を調べるため、スパッタ蒸着によって作製した水素含有WO$$_{3}$$膜を大気及び真空中にて熱処理を行い、反跳粒子検出法を用いた膜中水素濃度の定量と膜の吸光度の測定を同時に行った。水素濃度を定量した結果、100$$^{circ}$$C以上の温度から膜中の水素濃度が低下し、400$$^{circ}$$Cではほとんどの水素が放出されたことが明らかになった。水素含有WO$$_{3}$$膜の大気中での熱処理による吸光度の変化を測定した結果、140$$^{circ}$$C以上で吸光度が増加し250$$^{circ}$$C以上では初期値まで低下した。これは、膜中水素が140$$^{circ}$$C付近でWO$$_{3}$$を還元させたため膜が着色したことを示唆している。さらに、250$$^{circ}$$C付近では膜の酸化により脱色したものと考えられる。

no abstracts in English

発表言語

 :

Japanese

掲載資料名

 :

巻

 :

号

 :

ページ数

 :

発行年月

 :

発表会議名

 :

2007年秋季第68回応用物理学会学術講演会

開催年月

 :

2007/09

開催都市

 :

札幌

開催国

 :

日本

キーワード

 :

no keyword

特許データ

 :

PDF

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論文URL

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研究データの公開先DOI

 :

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使用施設

 :

TIARA(イオン照射研究施設)

広報プレスリリース

 :

論文解説
(JAEA R&D Navigator)

 :

受委託・共同研究相手機関

 :

東北大学

Access

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