微細加工技術を用いた平面デバイスの開発

Development of low-loss planar device using electro-fine-forming fabrication

伊藤 直樹*; 間瀬 淳*; 瀬古 典明; 玉田 正男; 松村 知宏*; 嶋津 博士*

Ito, Naoki*; Mase, Atsushi*; Seko, Noriaki; Tamada, Masao; Matsumura, Tomohiro*; Shimazu, Hiroshi*

マイクロ波・ミリ波プラズマイメージングシステムの高性能化やミリ波車載レーダにおいて、効率の良い小型平面デバイスの開発が不可欠である。そこで、放射線グラフト重合によりアンテナ基板の原料であるフッ素基板表面にアクリル酸を導入し、表面改質を図った。グラフト重合処理後のフッ素基板と銅箔との剥離強度の測定を行った結果、処理前の3.9N/cmに対して、約16N/cmに付着力の改善を図ることができた。また、グラフト処理前後における比誘電率の測定を空洞共振器法により測定し、処理前後で大きく変化しないことを確認した。これは、材料の電気的特性を大きく変化させず、表面の極めて薄い部分に官能基を導入できたことになる。

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