EUV光源用Snプラズマの輻射輸送係数

Coefficients of radiative transfer of Sn plasmas for the EUV source

佐々木 明; 西原 功修*; 砂原 淳*; 西川 亘*; 小池 文博*; 田沼 肇*

Sasaki, Akira; Nishihara, Katsunobu*; Sunahara, Atsushi*; Nishikawa, Takeshi*; Koike, Fumihiro*; Tanuma, Hajime*

EUV光源の高出力,高効率化のためには、輻射流体シミュレーションによる発光機構の理論的な解明と最適化が重要であり、その基礎データとしてのプラズマの輻射輸送係数は、想定されるプラズマの広い温度密度範囲において十分正確である必要がある。SnプラズマからのEUV放射は、おもに10価前後のイオンの4d-4f, 4d-5p共鳴線とサテライト線に起因するが、高温では()N殻の多重励起状態からの4p-4d, 4d-4f遷移の寄与も重要になる。本報告では、Snイオンの多重・内殻励起状態がプラズマの温度・密度に対する価数の依存性に与える影響と、それらが放出するサテライト線放射が輻射輸送係数に対する寄与について考察する。また、輻射による電離・励起の効果がプラズマのダイナミクスに与える効果について議論する。

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