Optimization of extreme ultraviolet emission from laser-produced tin plasmas based on radiation hydrodynamics simulations

輻射流体シミュレーションによるレーザー励起スズEUV光源の最適化

Sunahara, Atsushi*; Nishihara, Katsunobu*; Sasaki, Akira

レーザー生成スズプラズマを用いた、次世代半導体リソグラフィ技術のためのEUV光源の最適化のための研究を行った。詳細な計算で求めた輻射輸送係数を用いる1次元輻射流体コードを開発し、シミュレーションの結果が実験におけるスペクトルや変換効率を正しく再現することを確かめた。最適化計算を行った結果、励起源として炭酸ガスレーザーを用いると、プラズマの密度が低くなりスペクトルの幅が狭くなる効果によって、変換効率が4%まで向上する可能性があることがわかった。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Plasma and Fusion Research (Internet)
巻	:	3
号	:
ページ数	:	p.043_1 - 043_5
発行年月	:	2008/08
発表会議名	:
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キーワード	:	no keyword

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論文URL	:	https://doi.org/10.1585/pfr.3.043
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登録番号 : AA20080114
抄録集掲載番号 : 36001187
論文投稿番号 : 4488

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