RFプラズマで作成した酸化タングステン堆積膜のイオン照射効果

Ion irradiation effects on tungsten oxide layer deposited by RF plasma

Nagata, Shinji*; Fujita, Haruka*; Tsuchiya, Bun*; Shikama, Tatsuo*; Inoue, Aichi; Yamamoto, Shunya

酸素組成比の異なるタングステン酸化物(WO $_{X}$ :X 3)中における水素吸収・放出挙動を明らかにするため、RFマグネトロンスパッタリング法を用いて試料作製時の酸素分圧を変化させながら作製した非晶質(nc-)WO $_{X}$ 膜(100400nm)について、その酸素組成比をラザフォード後方散乱法で、水素分布を反跳粒子検出法で調べた。作製直後のnc-WO $_{3}$ 膜にはH/W0.7程度の水素が蓄積するが、その表面にnc-WO $_{X}$ 層を堆積させた2層膜では水素量が少なく、加熱による水素放出も起こりにくかった。この2層膜に水素イオンを注入すると、注入水素はnc-WO $_{3}$ 層内へ拡散・捕捉されるが、熱処理によって2層膜を結晶化させると水素を注入しても拡散が起こらなくなった。このことから、核融合炉第一壁表面に形成されるnc-WO $_{X}$ において、表面に酸素濃度の低いWO $_{X}$ を形成させこれを結晶化させると、核融合燃料が第一壁に取り込まれる現象(トリチウムインベントリー)を抑制できると考えられる。

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使用言語	:	Japanese
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発行年月	:
発表会議名	:	日本原子力学会2008年秋の大会
開催年月	:	2008/09
開催都市	:	香美
開催国	:	日本
キーワード	:	no keyword

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使用施設	:	TIARA(イオン照射研究施設)
広報プレスリリース	:
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受委託・共同研究相手機関	:	東北大学

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登録番号 : BB20081611
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