多層膜偏光子による軟X線光学素子評価ビームライン(BL-11)の直線偏光度測定

Polarization measurement of evaluation system for soft X-ray optical elements (BL-11) with multilayer polarizers

今園 孝志; 佐野 一雄*; 鈴木 庸氏; 河内 哲哉; 小池 雅人

Imazono, Takashi; Sano, Kazuo*; Suzuki, Yoji; Kawachi, Tetsuya; Koike, Masato

高度に偏光した軟X線光源の利用実験において偏光に関する情報をあらかじめ取得しておくことは重要である。磁性元素L吸収端近傍の波長域(keV)で機能する偏光素子がないために当該領域の定量的な偏光評価はこれまで行われてこなかった。そこで、当該域での偏光測定を実施するために測定軸として6軸、調整軸として3軸を有する偏光解析装置を新たに開発し、立命館大学SRセンターの軟X線光学素子評価ビームラインBL-11に設置した。偏光解析装置の性能を検証する目的で新たに作製したMo/SiO多層膜のs偏光反射率測定の結果、反射率,ピーク位置,半値幅がBL-11に附設の反射率計で得られた結果とほぼ一致することを確認した。

It is important for studies using polarized soft X-rays to obtain the information on the polarization state of polarized light in advance. No supply of polarizing element practicable in the energy region of 0.7-0.9 keV, which is in the vicinity of the L-edges of 3d transition metals, makes it difficult to evaluate the polarization state of the actual light so far. In order to perform polarization measurement, a soft X-ray ellipsometer equipped with six drive shafts for measurement and three ones for alignment has been designed newly and installed to BL-11 beamline, Evaluation System for Soft X-ray Optical Elements, at SR Center, Ritsumeikan University. A result of reflection measurement carried out as a performance test, the reflection profile, peak position, and reflection width of Mo/SiO multilayer polarizer, which has been fabricated newly in this study, obtained by the ellipsometer is well agree with those of the existing reflectometer.