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$$gamma$$線照射した4H-SiC MESFETの電気特性評価

$$gamma$$-ray irradiation effects on the I-V characteristics of 4H-SiC MESFET

小野田 忍; 岩本 直也; 小野 修一*; 片上 崇治*; 新井 学*; 河野 勝泰*; 大島 武

Onoda, Shinobu; Iwamoto, Naoya; Ono, Shuichi*; Katakami, Shuji*; Arai, Manabu*; Kawano, Katsuyasu*; Oshima, Takeshi

耐放射線性SiC(Silicon Carbide)デバイス開発研究の一環として、4H(Hexagonal)SiCエピ基板上に作製したMESFET(Metal Semiconductor Field Effect Transistor)に、Co-60照射施設において、8.7kGy/hの線量率で2.4MGyの線量まで$$gamma$$線を室温にて照射した。照射前後の電流電圧特性を室温,暗条件にて測定した。その結果、2MGyを超えても相互コンダクタンスの変化はほとんど見られなかった。さらに、ゲートのリーク電流,理想係数,障壁高さ,しきい値電圧についても、同様に大きな変化は観測されなかった。以上のことから、4H-SiC MESFETは高い耐放射線性を有することが示された。

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