レーザー、放電励起EUV光源における原子過程及び放電初期過程の考察

Modeling studies of initial processes in the discharge pumped (DPP) and laser assisted (LA) DPP EUV sources

佐々木 明; 西原 功修*; 砂原 淳*; 西川 亘*; 小池 文博*; 古河 裕之*

Sasaki, Akira; Nishihara, Katsunobu*; Sunahara, Atsushi*; Nishikawa, Takeshi*; Koike, Fumihiro*; Furukawa, Hiroyuki*

EUVリソグラフィ用光源及びUVからX線領域の光源として応用される、放電プラズマの輻射特性の正確な評価を目的とした、原子過程モデルの研究の状況,波長13.5nm域の輻射放出・吸収係数のスペクトルプロファイルの改良について述べる。発光に寄与の多い、Snの10価前後のイオンの共鳴線と内殻サテライト線の波長を、実験結果と比較し補正を行うことで、発光スペクトルがよく再現されるようになることを示す。また、最近の粒子シミュレーションによる知見をもとに、放電の複雑な時間変化や構造形成の解析及びその適切なモデル化方法について議論する。放電現象を、媒質の電離に伴う相転移現象と考え、パーコレーションモデルを用いて、放電閾値や放電開始の確率などを計算した結果を報告する。

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