Linear polarization measurements with a new soft X-ray polarimeter and ellipsometer at a bending magnet beamline of a compact storage ring

軟線偏光解析装置による小型放射光リングの偏光電磁石ビームラインの直線偏光度測定

今園 孝志; 佐野 一雄*; 鈴木 庸氏; 河内 哲哉; 小池 雅人

Imazono, Takashi; Sano, Kazuo*; Suzuki, Yoji; Kawachi, Tetsuya; Koike, Masato

新規に開発した完全偏光測定のための軟X線偏光解析装置(SXPE)を用いて軟X線ビームラインBL-11(立命館大学SRセンターに設置)の直線偏光度測定を行った。イオンビームスパッタリング法によりSi(111)基板上に成膜したMo/Si多層膜(周期長:10.36nm、周期長に対するMoの膜厚比:0.64、周期数:23,最上層:Si)を反射型偏光子として用いた。BL-11のMonk-Gillieson型不等間隔溝回折格子分光器で入射波長を12.414.8nmに変化させる時、偏光子の入射角を37.5から52.3に変化させた。偏光子の偏光能は入射角に強く依存し、波長14nm近傍で99%以上であることがわかった。これらの偏光子を用いることで、BL-11の直線偏光度は8588%であり、測定波長域においてほとんど一定であることを明らかにした。

Linear polarization measurements were carried out using a newly developed soft X-ray polarimeter and ellipsometer (SXPE) for complete polarization analysis at a soft X-ray beamline (BL-11) of the SR Center, Ritsumeikan University, Japan. A Mo/Si multilayer mirror was deposited on the surface of a Si(111) substrate by an ion beam sputtering method. It was cut into two pieces which were then used as reflection-type polarizers. When the incident wavelength was scanned from 12.4 nm to 14.8 nm by a Monk-Gillieson type varied-line-spacing grating monochromator of the BL-11, the angles of incidence of both the Mo/Si multilayer polarizers in the SXPE were also varied from 37.5 to 52.3. The polarizances depended strongly on the wavelength, and the best performance of over 99% was obtained in the vicinity of 14 nm. Using these polarizers, we assessed that the degree of linear polarization of the BL-11 was almost constant at 85-88% in the measured wavelength range.