小型放射光源を用いた波長0.725nm領域の反射率/回折効率測定

Reflection and diffraction measurements in a wavelength range of 0.7 nm to 25 nm at a compact synchrotron radiation source

今園 孝志; 佐野 一雄*; 鈴木 庸氏; 河内 哲哉; 小池 雅人

Imazono, Takashi; Sano, Kazuo*; Suzuki, Yoji; Kawachi, Tetsuya; Koike, Masato

日本原子力研究所光量子科学研究センター(現原子力機構光量子科学研究ユニット)では、多層膜鏡や回折格子等の軟X線光学素子の研究開発を平成9年度より開始し、平成12年3月には、島津製作所生産技術研究所及び同基盤技術研究所との共同研究により、立命館大学SRセンターの超小型SR光源AURORAのBL-11に軟X線光学素子評価システムを設置し、運用を開始した。本システムの特徴は、分光器として2偏角を持つMonk-Gillieson(MG)型不等間隔溝平面回折格子分光器と、波長走査方式にSurface Normal Rotationを採用したMG型円錐回折平面回折格子分光器の複合型分光器であることである。下流にある反射率計には高精度2軸ゴニオメータが搭載されており、0.725nmの幅広い波長域に対する軟X線光学素子の反射率・回折効率の波長特性等を詳細に評価することが可能である。また、平成20年度からは本システムの最下流部に軟X線偏光解析装置(SXPE)を増設し、偏光素子の研究開発ができるように高度化された。本文では軟X線光学素子評価システム及びSXPEの紹介とこれまでの研究成果の一部について述べる。

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