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気液平衡型ガス発生源の真空天秤による性能試験

Performance testing of vapor-liquid equilibrium type of gas permeation source with vacuum balance

秦野 歳久; 平塚 一; 長谷川 浩一; 海福 雄一郎*; 阿部 哲也

Hatano, Toshihisa; Hiratsuka, Hajime; Hasegawa, Koichi; Kaifuku, Yuichiro*; Abe, Tetsuya

環境分野での大気汚染ガス量やアルミリサイクル材に混入している不純物ガス量の定量測定は、これらを世界標準化する観点からガス量を直接、重量値として表すことが求められている。そのため重量値で示せる標準ガス発生源の実用化が期待されている。本研究では、気液平衡型ガス発生源(以下、P-チューブと略する)を一候補例として、真空中での性能評価試験を行った。具体的には、真空中でガスの重量変化を自作の真空天秤で直接測定するとともに質量分析計を用いてガス成分濃度も合わせて測定し、両者の対応関係等について調べた。試験結果は、気液平衡型P-チューブが真空用重量標準ガス発生源として使用できる可能性を示した。

In the quantitative measure of air pollution gas and impurity gas in the aluminum recycle material etc, it is requested to show the amount of the gas directly by the weight value from the viewpoint of global standard. Therefore, standard gas sources expressed in units of weight are needed. The vapor-liquid equilibrium type of gas permeation sources (hereafter "P-tube") is used well in the atmosphere as calibration gas of the measuring equipment and a standard gas source for low concentration of gas. The study aims to estimate performance of P-tubes in the vacuum. Specifically, weight change of P-tubes were measured with the vacuum balance and at the same time concentration of gas constituents were also measured by Electron Ionization-Quadrupole Mass Spectrometer (hereafter, EI-QMS). The relation of both was examined. The prospect was obtained that the P-tube was able to be used as a standard gas source in the vacuum though the warming was needed.

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