軟X線光学素子評価システムにおける偏光測定

Polarization measurements in the evaluation system for soft X-ray optical elements

今園 孝志; 笹井 浩行*; 原田 善寿*; 岩井 信之*; 森谷 直司*; 佐野 一雄*; 鈴木 庸氏; 加道 雅孝; 河内 哲哉; 小池 雅人

Imazono, Takashi; Sasai, Hiroyuki*; Harada, Yoshihisa*; Iwai, Nobuyuki*; Moriya, Naoji*; Sano, Kazuo*; Suzuki, Yoji; Kado, Masataka; Kawachi, Tetsuya; Koike, Masato

軟X線光学素子評価システム(立命館大学SRセンター軟X線ビームラインBL-11に設置)は軟X線(0.725nm)を用いて多層膜鏡や回折格子等の光学特性を評価することができる。近年、光自身や物質と相互作用する前後の光の偏光状態に注目が集まっており、移相子や偏光子等の偏光素子の開発が望まれている。しかし、現状の評価システムでは偏光素子の評価を行うことはできず、ニーズに対応しきれていない。あらかじめ偏光状態を把握しておくことは光学素子を開発するうえで極めて有用であることから、偏光解析装置を新たに開発することで評価システムを高度化することとした。X線レーザー発振波長で高い特性を持つよう設計し、作製したMo/Si多層膜を偏光子として用いて行った波長12.414.8nmにおけるBL-11の直線偏光度測定を行った結果、直線偏光度は8588%であり、測定波長域ではほぼ一定であることがビームラインの建設以来初めて明らかとなった。本測定により、同評価システムにおいて偏光素子を含む多様な光学素子の研究開発が可能となったことが実証された。

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