高エネルギーイオンビームを用いたナノ・マイクロ構造創製技術とその応用

Technology of nano-/micro structure fabrication using high-energy ion beams and its applications

神谷 富裕

Kamiya, Tomihiro

高エネルギーイオンビームをどのように「ものづくり」に役立てるかを考える。高エネルギーイオンビームの物質との相互作用では、直線的な飛跡に沿い、高い線エネルギー付与(LET)と、飛跡の終点付近でブラッグピークを持つという大きな特徴を有し、照射条件にも、他の放射線にはない際立った多様性がある。このようなビームをマイクロ/ナノメーターレベルで制御するマイクロビーム技術は、多様で新奇な微細構造を創製する「ものづくり」技術となりうる。これを実現するために、イオンビームと物質との相互作用に関する基礎的・系統的知見の蓄積、それを基礎とした材料,ビーム技術、及び加工技術等、多分野の研究者による有機的な取組が必要である。

The high-energy ion microbeam technology that controls various kinds of ion beams with the energy of MeV/amu or more at the micro nano level can provide the new fabrication methods making the best use of the feature of the interaction of high-energy ions with materials. It is necessary to advance the material development, the beam technology development, and the processing technology development, under the accumulation of a basic and systematic finding concerning the interaction of the ion beam and the material by collaboration of many scientists in various research fields.