プロトンビーム描画による波長1.5m帯用シングルモードPMMA導波路

Single-mode PMMA waveguides for the 1.5-m wavelength range fabricated by proton beam writing

三浦 健太*; 町田 裕貴*; 上原 政人*; 花泉 修*; 石井 保行; 佐藤 隆博; 高野 勝昌; 大久保 猛; 山崎 明義; 井上 愛知; 江夏 昌志; 横山 彰人; 神谷 富裕; 小嶋 拓治; 西川 宏之*

Miura, Kenta*; Machida, Yuki*; Uehara, Masato*; Hanaizumi, Osamu*; Ishii, Yasuyuki; Sato, Takahiro; Takano, Katsuyoshi; Okubo, Takeru; Yamazaki, Akiyoshi; Inoue, Aichi; Koka, Masashi; Yokoyama, Akihito; Kamiya, Tomihiro; Kojima, Takuji; Nishikawa, Hiroyuki*

プロトンビーム描画(Proton Beam Writing: PBW)は、近年、次世代の微細加工技術として注目されているが、その一方で、新たな光導波路描画技術としても知られている。これまでにPMMAへのプロトン照射による屈折率向上効果を利用することによって、マスクレスでPMMA導波路を直接描画する試みが報告されており、可視波長(632.8nm)でシングルモードとなるチャネル導波路も試作されている。しかしながら、これまで、この手法では、光通信波長帯(波長1.5m帯など)での動作を目指した検討は行われていなかった。そこでわれわれは、PMMA薄膜へのPBWによる直接描画による、波長1.5m帯用の光導波路デバイスの実現を目指している。今回われわれは、PBWを利用したPMMA導波路として、新たに提案,試作し、長さ10mm程度の直線導波路を作製,評価したところ、波長1.55mの光伝搬(シングルモード)を確認できたので、報告する。

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