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レーザー法による表面変位測定装置の特性評価

Evaluation of characteristics of the surface displacement measurement device by laser method

伊藤 正泰 ; 川又 一夫; 石塚 悦男   

Ito, Masayasu; Kawamata, Kazuo; Ishitsuka, Etsuo

表面変位計測装置は、レーザー変位センサを用いて、試料の表面状態を測定するものである。本装置をセル内において使用するには、使用環境を考慮した当該装置の特性を知ることが重要である。そのため、本報告書は、レーザー法による表面変位測定装置の特性評価についてまとめたものである。

Surface state of material is measured by the surface displacement measurement device with laser displacement sensor. It is important to know the characteristic of a device that considers environment to use this device in the cell. Therefore, this report described about evaluation of characteristics of the device by laser method.

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