プロトンビーム描画による波長1.5m帯用PMMA導波路の試作,2

Fabrication of PMMA waveguides for the 1.5--wavelength range by using proton beam writing, 2

三浦 健太*; 町田 裕貴*; 上原 政人*; 花泉 修*; 石井 保行; 佐藤 隆博; 高野 勝昌; 大久保 猛; 山崎 明義; 井上 愛知; 江夏 昌志; 横山 彰人; 神谷 富裕; 小嶋 拓治; 西川 宏之*

Miura, Kenta*; Machida, Yuki*; Uehara, Masato*; Hanaizumi, Osamu*; Ishii, Yasuyuki; Sato, Takahiro; Takano, Katsuyoshi; Okubo, Takeru; Yamazaki, Akiyoshi; Inoue, Aichi; Koka, Masashi; Yokoyama, Akihito; Kamiya, Tomihiro; Kojima, Takuji; Nishikawa, Hiroyuki*

本研究は集束プロトンビーム描画(Proton Beam Writin、PBW)を用いてPMMAの照射部の改質を行うことで、小型かつ、省出力で動作する光スイッチの製作を目的としている。これまでに、PBWを用いてPMMAの導波路を試作し、波長1.55mにおけるシングルモード伝搬を初めて実証した。今回コア幅を416mの範囲で変えた複数のPMMA直線導波路を同一基板上に作製し、シングルモードとマルチモードの境界になる幅を実験から特定することによって、この導波路構造におけるシングルモード条件を明らかにしたので報告する。具体的にはコア幅を、416mの範囲で2m刻み(設定値)で変えた導波路の製作と、波長1.55mにおける幅8mの導波路の近視野像(基本モード)及び幅10mの導波路の近視野像(高次モード)の観察結果を示す。この結果から、PMMA導波路がシングルモードとなる幅の最大値は、810mの範囲であることがわかった。発表ではこれに加えて、これらの導波路の伝搬損失の評価やコア層の厚さの最適化に関しても言及する。

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