A New soft X-ray polarimeter and ellipsometer at BL-11

BL-11における軟X線偏光解析装置の新規開発

今園 孝志; 佐野 一雄*; 鈴木 庸氏; 河内 哲哉; 小池 雅人

Imazono, Takashi; Sano, Kazuo*; Suzuki, Yoji; Kawachi, Tetsuya; Koike, Masato

軟X線領域において偏光実験を実施するための新装置を設計製作し、立命館大学SRセンターBL-11に設置した。本装置は、6つの独立の駆動軸を駆使することにより、回転検光子法に基づく完全偏光測定のための光学配置を実現できる。本装置の性能試験としてBL-11からの軟X線光源(波長13.9nm近傍)の直線偏光度測定を実施した。偏光子にはイオンビームスパッタリング法によりSi(111)ウェハ上に成膜した2枚のMo/Si多層膜(周期長:10.36nm,周期長に対するMoの膜厚比:0.64,膜総数:46,最上層:Si)を用いた。その結果、波長12.414.8nmの直線偏光度は8588%であることがわかった。また、偏光子に用いたMo/Si多層膜の偏光能は99%以上(@13.9nm)であり、高い性能を有するX線レーザー用偏光子として利用できることがわかった。これにより、BL-11のがビームラインの建設以来初めて明らかにされるとともに、新装置を利用することで軟X線領域の偏光素子の評価が可能であることが確かめられた。

A novel apparatus for polarimetric and ellipsometric measurements for the complete polarization analysis in the soft X-ray (SX) region, which is based on the rotating-analyzer ellipsometry by using six independently movable drive shafts, has been designed, constructed, and installed in BL-11. Linear polarization measurement has been demonstrated using two identical Mo/Si multilayer polarizers. The incident wavelength was scanned from 12.4 nm to 14.8 nm by a VLS-PGM of BL-11, and the angles of incidence of both polarizers were also varied from 37.5 to 52.3. The best performance of polarizers has been determined to be over 99% at 13.9 nm, and the degree of linear polarization has been assessed to be 85-88% in the measured wavelength range for the first time since the completion of the beamline. This means that BL-11 is upgraded as the comprehensive evaluation beamline for optical elements including polarizing elements for use in the SX region.