EUV-FEL用高感度・高分解能・広視野な画像検出器の研究開発

High-sensitive, high-resolution, and wide-field-of-view image sensor for EUV-FEL

福田 祐仁; Faenov, A.*; Pikuz, T.*

Fukuda, Yuji; Faenov, A.*; Pikuz, T.*

極端紫外自由電子レーザー(EUV-FEL)の波長領域における、フッ化リチウム(LiF)結晶の画像検出器としての性能を評価し、シングルショット高分解能画像計測が可能であることを明らかにした。また、LiF結晶を用いて、EUV-FEL集光スポット形状の精密測定を行い、同時に、LiF結晶のアブレーションが起こっていることを見いだした。

We have characterized the performance of LiF crystal as an imaging sensor for extreme ultraviolet free electron laser (EUV-FEL). We found that the LiF crystal could register a single shot image of various materials in a wide field of view with high spatial resolution and high dynamic range. Detailed structure of focused spot image of single shot EUV-FEL was measured using the LiF crystal. It is found that a crater appears on a surface of LiF in one shot.