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InドープZnOのイオン照射効果

Ion irradiation effect of In-doped ZnO

松波 紀明*; 福島 潤*; 左高 正雄; 岡安 悟  ; 須貝 宏行; 垣内田 洋*

Matsunami, Noriaki*; Fukushima, Jun*; Sataka, Masao; Okayasu, Satoru; Sugai, Hiroyuki; Kakiuchida, Hiroshi*

原子力科学研究所タンデム加速器からの高エネルギー重イオンをインジウム(In)ドープのZnOに照射した。InドープのZnOは太陽電池電極の電極材などに用いられる透明半導体である。高エネルギーNe及びXeイオン照射の結果、電気伝導度が照射量に対し数桁上昇することを見いだした。これは高エネルギー重イオン照射に特徴的に起こる固体中の電子励起過程により、ZnサイトをInが置換した結果であることを見いだした。

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