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軟X線レーザー干渉計によるフェムト秒レーザーパルス積算照射効果の観測

Observation of the femtosecond-laser multiple irradiation effect by soft X-ray laser interferometer

山本 稔; 長谷川 登; 寺川 康太*; 富田 卓朗*; 越智 義浩; 河内 哲哉; 大場 俊幸; 海堀 岳史; 南 康夫*; 末元 徹

Yamamoto, Minoru; Hasegawa, Noboru; Terakawa, Kota*; Tomita, Takuro*; Ochi, Yoshihiro; Kawachi, Tetsuya; Oba, Toshiyuki; Kaihori, Takeshi; Minami, Yasuo*; Suemoto, Toru

フェムト秒レーザー加工において、1パルス照射あたり数ナノメートルの加工が起こる低アブレーションレート領域が存在し、微細加工技術への応用として期待されている。しかし、この領域のアブレーションプロセスは未解明である。本研究では、軟X線レーザーを用いた干渉計を構築し、フェムト秒レーザーパルス照射ごとに照射領域をその場観察した。加えて、その照射領域を原子間力顕微鏡により観察し、干渉計測との比較を行った。高フルエンスのレーザーパルスでは、線形に穴あき加工が起こるのに対し、低フルエンスのレーザーパルスを複数回照射した際は、照射領域において初期段階で膨張が発生し、照射パルス数を増やしていくとアブレーションが起こることが明らかになった。

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