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イオンビーム誘起ラジカル重合による機能性ポリカルボシランナノファイバーの合成

Synthesis of functional polycarbosilane nanofiber by ion beam induced radical polymerization

吉村 公男; 杉本 雅樹; 出崎 亮; 吉川 正人; 佃 諭志*; 関 修平*

Yoshimura, Kimio; Sugimoto, Masaki; Idesaki, Akira; Yoshikawa, Masahito; Tsukuda, Satoshi*; Seki, Shu*

焼成転換により高耐熱の金属含有SiCナノファイバーが形成できる可能性を調べるため、スピンコート法によりシリコン基板上にPCS薄膜を形成した後、450MeVの$$^{129}$$Xe$$^{23+}$$イオンビームを照射して、薄膜中に直径約7nmの円筒状架橋部を形成した。これをグラフトモノマーのメタクリル酸グリシジルと溶媒を混合した溶液に浸漬して、溶媒に可溶な未架橋部の除去と同時に円筒状架橋部へのグラフト重合反応を進行させ、直径約20nmのグラフト化PCSナノファイバーを作製した。グラフト鎖部分にPdイオンを配位させたPCSナノファイバーを1000$$^{circ}$$Cで焼成し、SiCナノファイバーへと転換した。得られた試料をFE-SEM観察した結果、ナノファイバー上に二次電子を多く放出する、Pd微粒子と考えられるコントラストの強い直径約5nmの粒子状物質の存在が確認された。SiCナノファイバー上に金属を分散,担持させる手法が確立できた。

no abstracts in English

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