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イオンチャネリングによるFe$$_{2}$$CoSi, Co$$_{2}$$FeSi/Geへテロ界面の評価

Ion channeling analysis of Fe$$_{2}$$CoSi, Co$$_{2}$$FeSi/Ge heterointerfaces

松倉 武偉*; 鳴海 一雅; 境 誠司; 浜屋 宏平*; 宮尾 正信*; 前田 佳均

Matsukura, Bui*; Narumi, Kazumasa; Sakai, Seiji; Hamaya, Kohei*; Miyao, Masanobu*; Maeda, Yoshihito

われわれはMBE成長させたFe系ホイスラー合金:DO$$_{3}$$-Fe$$_{3}$$Si(111), L2$$_{1}$$-Fe$$_{2}$$MnSi(111)/Ge(111)へテロ界面の結晶軸配向性をイオンチャネリングによって系統的に評価し、その支配因子について研究してきた。本研究では、原子の占有サイトが異なるFe$$_{2}$$CoSi, Co$$_{2}$$FeSi(111)/Ge(111)の結晶軸配向性について検討した。200$$^{circ}$$C以下で行う低温分子線エピタキシャル(MBE)成長によってFe$$_{2}$$CoSi, Co$$_{2}$$FeSi(111)薄膜(膜厚$$sim$$50nm)を成長させた。Ge$$<$$111$$>$$軸での2.0MeV $$^{4}$$He$$^{+}$$チャネリングを後方散乱角165$$^{circ}$$で測定した。FeとCo原子からの散乱スペクトルは、分離できないために同一チャネルとして評価した。測定は熱振動の影響の少ない40Kで行った。薄膜のエピタキシャル成長の軸配向性の評価に重要な軸チャネリングの最小収量($$chi$$$$_{min}$$)はそれぞれ3.2%と2.0%、チャネリング半値角($$psi$$$$_{1/2}$$)は0.91$$^{circ}$$と0.92$$^{circ}$$であった。最小収量($$chi$$$$_{min}$$)付近のばらつきは、Fe$$_{2}$$CoSi, Co$$_{2}$$FeSi格子中の各サイトを占有するCo(A, C)とFe(B)原子の乱れによるものと推測される。講演では、($$chi$$$$_{min}$$, $$psi$$$$_{1/2}$$)とDebyeモデルとBarrette-Gemmellモデルから計算した原子の静的変位を用いて両者の違いを議論する。

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