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CuOのイオン照射効果

Ion irradiation effects on copper-oxide(CuO) films

松波 紀明*; 佐久間 靖博*; 左高 正雄; 岡安 悟  ; 垣内田 洋*

Matsunami, Noriaki*; Sakuma, Yasuhiro*; Sataka, Masao; Okayasu, Satoru; Kakiuchida, Hiroshi*

イオン照射による酸化物及び窒化物の電子励起過程による電子構造改質,原子構造改質の研究を進めている。酸化銅(CuO)薄膜に高エネルギーイオン(198MeV Xe, 99MeV Xe等)を照射し、スパッタリング収量等を測定した。その結果について報告するとともに、他の酸化物・窒化物の結果との比較を行う。測定したスパッタリング収量(Y)の電子的阻止能(Se)依存性は線形であることがわかった。Cu$$_{2}$$Oの場合がそうであるように、一般に電子阻止能依存性は超線形(Y=ASe$$^{n}$$, n$$>$$1)である。この現象について、励起子モデルに基づいて考察する。

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