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電子線照射した6H-SiC単結晶の光音響分光

Photoacoustic spectroscopy of electron irradiated 6H-SiC single crystal

若林 啓美*; 宮崎 尚*; 岡本 庸一*; 守本 純*; 小野田 忍; 大島 武

Wakabayashi, Hiromi*; Miyazaki, Hisashi*; Okamoto, Yoichi*; Morimoto, Jun*; Onoda, Shinobu; Oshima, Takeshi

単結晶6H-SiCに電子線を照射し、生成された欠陥等を光音響分光法(PAS)により評価した。360nmから410nmと480nm以上でブロードなピークが確認された。さらに5$$times$$10$$^{17}$$/cm$$^2$$の試料には620nmから660nmに大きなピークが確認された。同様の実験をLiNbO$$_3$$に行っているが、SiCのほうが電子線を照射したことによる変化は小さいことがわかった。PAS測定の結果から、6H-SiCのほうがLiNbO$$_3$$よりもはるかに放射線に対し耐性があることが示された。

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