Picosecond soft-X-ray laser interferometer for probing nanometer surface structure

ナノメートルスケールの固体表面探査を可能にするピコ秒X線レーザー干渉計

越智 義浩; 寺川 康太*; 長谷川 登; 山本 稔*; 富田 卓朗*; 河内 哲哉; 南 康夫*; 錦野 将元; 今園 孝志; 石野 雅彦; 末元 徹*

Ochi, Yoshihiro; Terakawa, Kota*; Hasegawa, Noboru; Yamamoto, Minoru*; Tomita, Takuro*; Kawachi, Tetsuya; Minami, Yasuo*; Nishikino, Masaharu; Imazono, Takashi; Ishino, Masahiko; Suemoto, Toru*

波長13.9nm,パルス幅7psの軟X線レーザーを用いたダブルロイズ型干渉計を開発し、深さ5nmの溝をシングルショットで撮像し、再生することに成功した。この干渉計の平面内、及び深さ方向の分解能はそれぞれ1.5m, 1nmよりも高く、固体表面におけるナノメートル級の過渡変位の診断への応用が期待される。

We have developed a soft X-ray laser interferometer based on the double Lloyd's mirror and obtained a single shot interferogram by a 7-ps pulse at the wavelength of 13.9 nm. Micrometer grooves with 5-nm depth were successfully reconstructed from the interferogram. The lateral and depth resolutions were estimated to be 1.5 m and better than 1 nm, respectively. This interferometer will be an attractive diagnostic device for observing transiently changing nano-scale deviations on solid surfaces.